IGBT全稱為絕緣雙極性晶體管,所以它是一個有MOSGate的BJT晶管體。一說起IGBT,半導(dǎo)體制造的人都以為不就是一個分立器件(Power Disceret)嘛,都很瞧不上眼。然而他和28nm/16nm集成電路制造一樣,是國家「02專項」的重點扶持項目,這玩意是現(xiàn)在目前功率電子器件里技術(shù)最先進的產(chǎn)品,已經(jīng)全面取代了傳統(tǒng)的Power MOSFET,其應(yīng)用非常廣泛,小到家電、大到飛機、艦船、交通、電網(wǎng)等戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),被稱為電力電子行業(yè)里的「CPU」。
IGBT不用機械按鈕,它是由計算機控制的。具體點說,IGBT的簡化模型有3個接口,有兩個(集電極、發(fā)射極)接在強電電路上,還有一個接收控制電信號,叫作門極。給門極一個高電平信號,開關(guān)(集電極與發(fā)射極之間)就通了;再給低電平信號,開關(guān)就斷了。給門極的信號是數(shù)字信號(即只有高和低兩種狀態(tài)),電壓很低,屬于弱電,只要經(jīng)過一個比較簡單的驅(qū)動電路就可以和計算機相連。實際用的“計算機”通常是叫作DSP的微處理器,擅長處理數(shù)字信號,比較小巧。
現(xiàn)在IGBT技術(shù)發(fā)展到什么水平了
IGBT (絕緣柵雙極型晶體管)發(fā)明于 80 年代初,多家公司幾乎同時并獨立地發(fā)明了這種器件,剛開始各公司對其稱謂也不同。
至今,IGBT經(jīng)歷了五代技術(shù)的發(fā)展演變,面對的是大量的結(jié)構(gòu)設(shè)計調(diào)整和工藝上的難題?;仡橧GBT的發(fā)展歷程,其主要從三方面發(fā)展演變:器件縱向結(jié)構(gòu),柵極結(jié)構(gòu)以及硅片的加工工藝。
多年以來,IGBT技術(shù)改進的追求的目標是:
1,減小通態(tài)壓降。達到增加電流密度、降低通態(tài)功率損耗的目的。
2,降低開關(guān)時間,特別是關(guān)斷時間。達到提高應(yīng)用時使用頻率、降低開關(guān)損耗的目的。
3,組成IGBT的大量“原胞”在工作時是并聯(lián)運行,要求每個原胞在工作溫度允許范圍內(nèi)溫度變化時保持壓降一致,達到均流目的。否則會造成IGBT器件因個別原胞過流損壞而損壞。
4,提高斷態(tài)耐壓水平,以滿足應(yīng)用需要。
具體到每一代的產(chǎn)品發(fā)展上。
第五代IGBT
第一代、第二代早期產(chǎn)品曾采用過“輻照”手段,但卻有增加通態(tài)壓降(會增加通態(tài)功耗)的反作用危險。第一代與第二代由于體內(nèi)晶體結(jié)構(gòu)本身原因造成“負溫度系數(shù)”,造成各IGBT原胞通態(tài)壓降不一致,不利于并聯(lián)運行,因此當時的IGBT電流做不大。此問題在第四代產(chǎn)品中采用了“透明集電區(qū)技術(shù)”,產(chǎn)生正溫度系數(shù)效果后基本解決了。
第二代產(chǎn)品采用“電場中止技術(shù)”,增加一個“緩沖層”,這樣可以用較薄的晶片實現(xiàn)相同的耐壓(擊穿電壓)。因為晶片越薄,,飽和壓降越小,導(dǎo)通功耗越低。此技術(shù)往往在耐壓較高的IGBT上運用效果明顯。耐壓較低的如幾百伏的IGBT產(chǎn)品,晶片本來就薄,再減薄到如100到150微米的話,加工過程極容易損壞晶片。
第三代產(chǎn)品是把前兩代平面絕緣柵設(shè)計改為溝槽柵結(jié)構(gòu),即在晶片表面柵極位置垂直刻槽深入晶片制成絕緣柵。柵極面積加大但占用晶片位置減小,增加了柵極密度。工作時增強了電流導(dǎo)通能力,降低了導(dǎo)通壓降。
第四代非穿通型IGBT(NPT)產(chǎn)品不再采用“外延”技術(shù),代之以“硼離子注入”方法生成集電極,這就是所謂的“透明集電區(qū)技術(shù)”。
第五代產(chǎn)品是在IGBT經(jīng)歷了上述四次技術(shù)改進實踐后對各種技術(shù)措施的重新組合。第五代IGBT是第四代產(chǎn)品“透明集電區(qū)技術(shù)”與“電場中止技術(shù)”的組合。
上述幾項改進技術(shù)已經(jīng)在各國產(chǎn)品中普遍采用,只是側(cè)重面有所不同。除此以外,有報道介紹了一些其它技術(shù)措施如:內(nèi)透明集電極、砷摻雜緩沖層、基板薄膜化、軟穿通技術(shù)等。
國內(nèi)首家應(yīng)用第五代IGBT的APF制造公司
山東恒電電氣股份有限公司投入大量的科研力量研究發(fā)現(xiàn),第五代IGBT可以降低三分之一的損耗,提高開關(guān)頻率。目前是國內(nèi)APF研發(fā)生產(chǎn)公司中唯一一家已經(jīng)開始使用第五代IGBT的研發(fā)企業(yè),產(chǎn)品質(zhì)量在國內(nèi)瑤瑤領(lǐng)先。